可选气体参考表：
二氧化碳 | CO2 | 锗烷 | GeH4 |
可燃气体 | Ex | 联氨 | N2H4 |
甲烷 | CH4 | 肼 | N2H4 |
乙烷 | C2H6 | 四氢噻吩 | THT |
丙烷 | C3H8 | 溴气 | Br2 |
非甲烷总烃 | CxHy | 乙炔 | C2H2 |
一氧化碳 | CO | 二硫化碳 | CS2 |
硫化氢 | H2S | 乙醛 | C2H4O |
氧气 | O2 | 丙烯腈 | C3H3N |
氮气 | N2 | 丁酮 | MEK |
氨气 | NH3 | 丙酮 | MDK |
氯气 | CL2 | 六氟化硫 | SF6 |
氢气 | H2 | 乙烯 | C2H4 |
氦气 | He | 异丙醇 | C3H8O |
氩气 | Ar | 乙醇 | C2H6O |
氙气 | Xe | 甲醇 | CH4O |
甲醛 | CH2O | 甲胺 | CH5N |
臭氧 | O3 | 甲硫醇 | CH4S |
一氧化氮 | NO | 三氯乙烯 | C2HCL3 |
二氧化氮 | NO2 | 四氯乙烯 | C2CL4 |
氮氧化物 | NOX | 氯甲烷 | CH3CL |
二氧化硫 | SO2 | 二氯甲烷 | CH2CL2 |
环氧乙烷 | ETO | 三氯甲烷 | CHCL3 |
环氧乙烷 | C2H4O | 笑气 | N2O |
磷化氢 | PH3 | 三氟化氮 | NF3 |
氯化氢 | HCL | 过氧化氢 | H2O2 |
氰化氢 | HCN | 苯乙烯 | C8H8 |
光气 | COCL2 | 四氢呋喃 | THF |
二氧化氯 | CLO2 | 二甲基甲酰胺 | DMF |
硅烷 | SiH4 | TVOC | TVOC |
溴甲烷 | CH3Br | VOC | VOC |
硫酰氟 | SO2F2 | 苯 | C6H6 |
氟气 | F2 | 甲苯 | C7H8 |
氟化氢 | HF | 二甲苯 | C8H10 |
溴化氢 | HBr | 丁烷 | C4H10 |
乙硼烷 | B2H6 | 异丁烷 | C4H10 |
砷化氢 | AsH3 | 戊烷 | C5H12 |
丙烯 | C3H6 | 甲乙酮 | C4H8O |
氯乙烯 | C2H3CL | 冷媒（氟利昂） |